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    NF-300H Astra
    12英寸PEALD设置装备摆设

    产品介绍

    NF-300H Astra 系列是ag九游自主研发的原子层堆积(Atomic Layer Deposition)设置装备摆设,可设置装备摆设3个6站的反响腔,其ALD反响腔搭载在高产能的PECVD平台上,满意了对设置装备摆设产能的需求,现已使用于先辈的芯片制造及先辈封装(TSV)范畴,同时针对14nm以下前道工艺(FEOL)举行研制开辟。现可提供具有高质量的PEALD,如SiO2、SiN薄膜,并连续开辟金属氧化物及金属氮化物等薄膜工艺。



     
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