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产品介绍

PF-300T、PF-200T
12英寸 , 8英寸PECVD设置装备摆设

产品介绍

PF-300T为ag九游承当国度“十一五”严重专项,自主设计研发的产品系列。设置装备摆设已用于40-28纳米集成电路的消费,具有14纳米及以下技能的延展性,可完成一切相干介质薄膜的堆积。同时已延伸至先辈膜技能,产品涵盖了高刻蚀选择比的ACHM硬掩膜、低介电常数的绝缘薄膜及NDC刻蚀拦截层、超低介电常数的ULK薄膜,可满意客户多种技能节点要求。


 
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